Beschichtungszusammensetzung zur Abdeckung einer Wolframhaltigen Oberfläche auf einer Halbleitervorrichtung Während eines Atomlagenabscheidungsverfahrens

EP4642858 Art A1 5. November 2025

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4642858
Aktenzeichen: EP23837313
Anmeldetag: 21. Dezember 2023
Veröffentlichung: 5. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C09D5/00C09D7/20C09D7/63C11D1/38C11D1/62C23C16/02C23C16/04C23C16/34C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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