Zusammensetzung zur Selektiven Entfernung von Oxidverbindungen und Ätzrückständen von Co oder Cu

EP4643371 Art A1 5. November 2025

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4643371
Aktenzeichen: EP23837298
Anmeldetag: 21. Dezember 2023
Veröffentlichung: 5. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

17.522 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von