Pick And Place mit Chipaktuatoren zur Heterogenen Integration
EP4643375
Art A1
5. November 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4643375
- Aktenzeichen
- EP23813787
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 5. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L23/00B25J7/00B25J9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven