Pick And Place mit Chipaktuatoren zur Heterogenen Integration

EP4643375 Art A1 5. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4643375
Aktenzeichen
EP23813787
Anmeldetag
1. Dezember 2023
Veröffentlichung
5. November 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L23/00B25J7/00B25J9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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