System mit Fokussiertem Ionenstrahl

EP4645362 Art A3 14. Januar 2026

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4645362
Aktenzeichen: EP25164543
Anmeldetag: 18. März 2025
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26H01J37/28H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von