Temperatursteuerungsverfahren, Halbleiterbauelementherstellungsverfahren, Substratbehandlungsvorrichtung und Programm
EP4645373
Art A1
5. November 2025
Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4645373
- Aktenzeichen
- EP23911312
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 5. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31C23C16/44C23C16/52H01L21/22H01L21/324
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
538 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
513
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte