Verfahren zum Herstellen eines Spiegels

EP4647815 Art A1 12. November 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4647815
Aktenzeichen: EP25165057
Anmeldetag: 20. März 2025
Veröffentlichung: 12. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/12G02B5/08G03F7/20G21K1/06H01J37/317// G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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