Yttriumkomplexe und Zugehörige Verfahren

EP4649085 Art A1 19. November 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4649085
Aktenzeichen
EP24742119
Anmeldetag
12. Januar 2024
Veröffentlichung
19. November 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C07F17/00C07F5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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