Vorrichtung zur Korrektur der Beleuchtungsgleichmässigkeit mit einer Durchlässigen Korrekturplatte mit Variierendem Parameterprofil

EP4650875 Art A1 19. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4650875
Aktenzeichen: EP24175527
Anmeldetag: 13. Mai 2024
Veröffentlichung: 19. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B13/22G02B27/00G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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