Zusammensetzungen zum Polieren von Hartmasken und Zugehörige Systeme und Verfahren
EP4652012
Art A1
26. November 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4652012
- Aktenzeichen
- EP24745025
- Anmeldetag
- 12. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 26. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B37/005B24B57/02C09K3/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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