Drucksensormodul und Verfahren zur Herstellung des Drucksensormoduls

EP4653834 Art A1 26. November 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4653834
Aktenzeichen: EP23917614
Anmeldetag: 25. Oktober 2023
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01L9/00B81B3/00B81C1/00H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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