Verfahren zur Vorhersage eines On-Produkt-Effekts eines Waferladegitters

EP4653953 Art A1 26. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4653953
Aktenzeichen: EP24177237
Anmeldetag: 22. Mai 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G06Q10/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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