Verfahren zur Kalibrierung einer Beleuchtungsoptik

EP4653954 Art A1 26. November 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT GmbH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4653954
Aktenzeichen: EP24177643
Anmeldetag: 23. Mai 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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