Bühnenvorrichtung und damit Ausgestattete Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl

EP4654243 Art A1 26. November 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654243
Aktenzeichen: EP25168624
Anmeldetag: 4. April 2025
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/28F25B21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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