Substratbehandlungsvorrichtung und Substratbehandlungsverfahren

EP4654250 Art A1 26. November 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654250
Aktenzeichen: EP23917630
Anmeldetag: 9. November 2023
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304H01L21/027H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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