Bühnenvorrichtung, Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Vakuumvorrichtung

EP4654253 Art A3 31. Dezember 2025

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654253
Aktenzeichen: EP25171939
Anmeldetag: 23. April 2025
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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