Verfahren und Vorrichtungen zum Berührungslosen Einstellen einer Elektrostatischen Ladung einer Probe

EP4655813 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4655813
Aktenzeichen: EP24701583
Anmeldetag: 19. Januar 2024
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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