Verfahren zur Herstellung eines Dicken Polymerfilms auf einem Substrat

EP4656350 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4656350
Aktenzeichen: EP25177322
Anmeldetag: 19. Mai 2025
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B29C43/14H01L21/02B32B37/00B32B38/10// H01L21/027H01L21/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von