Verfahren zur Kalibrierung eines Optischen Messsystems und zur Implementierung des Verfahrens Angepasstes System

EP4657009 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT GmbH 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4657009
Aktenzeichen: EP24178736
Anmeldetag: 29. Mai 2024
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02055G01B21/04G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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