Verfahren zur Synchronisierung und Abfrage von Teilchenstrahlen

EP4657488 Art A2 3. Dezember 2025

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4657488
Aktenzeichen: EP25175633
Anmeldetag: 12. Mai 2025
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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