Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen durch Lithografie mit Lackübertragung

EP4660707 Art A1 10. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4660707
Aktenzeichen: EP24179476
Anmeldetag: 3. Juni 2024
Veröffentlichung: 10. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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