Verfahren zur Kontrollierten Abscheidung einer Oxidschicht eines Zieloxids auf einem Substrat in einem Tle-System und Tle-System

EP4662357 Art A1 17. Dezember 2025

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4662357
Aktenzeichen: EP23717997
Anmeldetag: 17. April 2023
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C30B23/06C30B29/16C23C14/28

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Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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