Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskop mit einer Detektionseinheit zur Schnellen Kompensation von Ladungseffekten
EP4662689
Art A1
17. Dezember 2025
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4662689
- Aktenzeichen
- EP24701308
- Anmeldetag
- 10. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/21H01J37/244H01J37/28H01J37/09H01J37/10H01J37/145H01J37/147
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tesch-Biedermann, Carmen
München, Deutschland
52
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte