Strahlungsquelle und Verfahren zur Erzeugung von Ausgangsstrahlung

EP4664194 Art A2 17. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4664194
Aktenzeichen: EP25205203
Anmeldetag: 29. September 2025
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35G02F1/365

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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