Substratverarbeitungssystem

EP4664217 Art A2 17. Dezember 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4664217
Aktenzeichen: EP24218511
Anmeldetag: 9. Dezember 2024
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/67H01L21/673H01L21/677H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von