Ionenimplantationsverarbeitungssystem

EP4664506 Art A1 17. Dezember 2025

Anmelder: Rohm Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4664506
Aktenzeichen
EP24753258
Anmeldetag
2. Februar 2024
Veröffentlichung
17. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265H01J37/317H01L21/336H01L29/06H01L29/12H01L29/78H01L29/861H01L29/868H01L29/872
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Rohm Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

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