Herstellungsverfahren für Gruppe-Iii-Nitrid-Halbleitersubstrat und Gruppe-Iii-Nitrid-Halbleitersubstrat

EP4665121 Art A3 31. Dezember 2025

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4665121
Aktenzeichen: EP25211782
Anmeldetag: 1. November 2016
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/205C23C16/34H01L21/302H01L21/02C23C16/02C23C16/04C23C16/30C23C16/56H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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