System zur Speicherung und Abgabe von Zielmaterial für eine Euv-Strahlungsquelle

EP4665520 Art A1 24. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4665520
Aktenzeichen: EP24703722
Anmeldetag: 1. Februar 2024
Veröffentlichung: 24. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B22C9/08B22D11/119B22D23/00B22D35/00B22D39/02B22D39/06B22D43/00G03F7/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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