Gaszufuhrmodul, Flüssigkeitshandhabungssystem, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP4666131 Art A1 24. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4666131
Aktenzeichen: EP24700451
Anmeldetag: 15. Januar 2024
Veröffentlichung: 24. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01F25/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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