Optisches Element zur Reflexion von Strahlung im Vuv-Wellenlängenbereich

EP4667982 Art A1 24. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4667982
Aktenzeichen: EP25180894
Anmeldetag: 4. Juni 2025
Veröffentlichung: 24. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von