Beugungsgitter und Analysevorrichtung damit sowie Verfahren zur Herstellung des Beugungsgitters

EP4667983 Art A1 24. Dezember 2025

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4667983
Aktenzeichen
EP23922856
Anmeldetag
25. Oktober 2023
Veröffentlichung
24. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/18G01J3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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