Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop

EP4671773 Art A3 11. März 2026

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4671773
Aktenzeichen: EP25215202
Anmeldetag: 5. März 2018
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q20/02G01Q10/06G01Q30/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von