Mehrstrahliges Ladungsträgerteilchenmikroskopdesign mit Adaptivem Detektionssystem

EP4672299 Art A2 31. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4672299
Aktenzeichen
EP25176421
Anmeldetag
14. Mai 2025
Veröffentlichung
31. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss MultiSEM GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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