Substratspeichersystem, Substrathandhabungsvorrichtung, Verfahren zum Vorübergehenden Speichern eines Substrats

EP4672308 Art A1 31. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4672308
Aktenzeichen: EP24184065
Anmeldetag: 24. Juni 2024
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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