Kühlsystem, Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm
EP4675674
Art A3
4. März 2026
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4675674
- Aktenzeichen
- EP25185306
- Anmeldetag
- 25. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 4. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Fachgebiete
Kanzlei
Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
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