Verfahren und System zur Stabilisierung eines Lasers mit Erzeugter Frequenzsumme

EP4677698 Art A1 14. Januar 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4677698
Aktenzeichen: EP24705172
Anmeldetag: 16. Februar 2024
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00H01S3/13H01S3/23G03F7/00G02F1/35G02F1/39

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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