Verfahren zur Herstellung einer Druckvorlage mit Variabler Tiefe für Nanoimprint-Lithographie

EP4679171 Art A1 14. Januar 2026

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4679171
Aktenzeichen: EP24188306
Anmeldetag: 12. Juli 2024
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00B29C33/38B29D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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