Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Siliciumnitrid
EP4680690
Art A1
21. Januar 2026
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4680690
- Aktenzeichen
- EP24771851
- Anmeldetag
- 15. März 2024
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09K13/06H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank