Reflektierender Fotomaskenrohling und Verfahren zur Herstellung einer Reflektierenden Fotomaske

EP4682630 Art A1 21. Januar 2026

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4682630
Aktenzeichen: EP25185476
Anmeldetag: 26. Juni 2025
Veröffentlichung: 21. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/26G03F1/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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