Lichtquellensystem zur Verwendung in einem Metrologiesystem

EP4682632 Art A3 4. März 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4682632
Aktenzeichen: EP25207267
Anmeldetag: 7. Oktober 2025
Veröffentlichung: 4. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G01B9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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