Mehrstrahl-Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betrieb davon
EP4684410
Art A1
28. Januar 2026
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4684410
- Aktenzeichen
- EP24711115
- Anmeldetag
- 28. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/04H01J37/26H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tesch-Biedermann, Carmen
München, Deutschland
52
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte