Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Lageparametern Und/oder Bewegungsparametern einer Flexiblen Fluidleitung

EP4684906 Art A1 28. Januar 2026

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4684906
Aktenzeichen: EP25186312
Anmeldetag: 30. Juni 2025
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/55B23K26/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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