Verarbeitungsverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements, Verarbeitungsvorrichtung und Programm

EP4685264 Art A1 28. Januar 2026

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4685264
Aktenzeichen: EP25182750
Anmeldetag: 13. Juni 2025
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C16/04C23C16/455H10P10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von