Maskenrohlingsubstrat und Verfahren zur Herstellung davon

EP4685557 Art A3 11. März 2026

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4685557
Aktenzeichen: EP25191375
Anmeldetag: 23. Juli 2025
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/22G03F1/24G03F1/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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