Verfahren zum Betrieb eines Ladungsträgerteilchenmikroskopsystems mit einem Strahlablenker und Zugehörige Systeme

EP4687168 Art A1 4. Februar 2026

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4687168
Aktenzeichen: EP25192724
Anmeldetag: 30. Juli 2025
Veröffentlichung: 4. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/295

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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