Verfahren zur Steuerung der Betriebsparameter einer Turbomolekularvakuumpumpe
EP4689407
Art A1
11. Februar 2026
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4689407
- Aktenzeichen
- EP24702680
- Anmeldetag
- 22. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D29/58
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Innovincia
Innovincia · Thonon-les-Bains