Bildgebende Euv-Optik zum Abbilden eines Objektfeldes in ein Bildfeld

EP4689798 Art A2 11. Februar 2026

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4689798
Aktenzeichen: EP24716766
Anmeldetag: 3. April 2024
Veröffentlichung: 11. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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