Lösungsmittelsysteme zur Selektiven Entfernung von Polymeren Materialien
EP4689803
Art A1
11. Februar 2026
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4689803
- Aktenzeichen
- EP24785611
- Anmeldetag
- 2. April 2024
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/30G03F7/32G03F7/20G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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