Mehrstrahl-Partikelmikroskop mit Schnell Austauschbarer Partikelquelle und Verfahren zum Schnellen Austauschen einer Partikelquelle im Mehrstrahl-Partikelmikroskop
EP4690272
Art A1
11. Februar 2026
Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4690272
- Aktenzeichen
- EP24715438
- Anmeldetag
- 22. März 2024
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26H01J37/16H01J37/18H01J37/067
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tesch-Biedermann, Carmen
München, Deutschland
52
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte