Verfahren und Vorrichtung zum Ersetzen eines Gasgemisches in einer Gasentladungskammer

EP4690393 Art A1 11. Februar 2026

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4690393
Aktenzeichen: EP24710850
Anmeldetag: 5. März 2024
Veröffentlichung: 11. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/104H01S3/036H01S3/038H01S3/083H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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