Verfahren und System zur Fehlerdiagnose und Prädiktiven Wartung in der Halbleiterherstellung unter Verwendung einer Multimodalen Argumentationsmaschine

EP4693113 Art A2 11. Februar 2026

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4693113
Aktenzeichen: EP25224669
Anmeldetag: 17. Dezember 2025
Veröffentlichung: 11. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G06N5/022G06N3/042G06N3/08// G06N3/0475G06N3/045

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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